氧化鋁陶瓷的介電常數為9.21εr(20℃,1MHz),非常的絕緣,且導熱系數為20W/m·K(20℃),是一種良好的耐高溫導熱陶瓷,所以半導體器件中常采用氧化鋁陶瓷作陶瓷基片。下面科眾陶瓷廠簡單給大家介紹下氧化鋁陶瓷基片。
氧化鋁陶瓷是目前制造和加工技術最成熟的陶瓷基片材料,其主要成分為α-Al2O3。根據Al2O3含量的不同又分為75瓷,85瓷,95瓷和99瓷等不同牌號。Al2O3。陶瓷具有介電損耗低,機械強度較高,化學穩定性好等優點。
陶瓷基片
雖然Al2O3陶瓷是目前最成熟的陶瓷基片材料,但其熱導率較低,如99瓷Al2O3。熱導率僅為29W/(m·K)。此外,Al2O3熱膨脹系數與半導體芯片材料Si、SiC等的熱膨脹系數相差較大,在冷熱循環中容易累積內應力,增加了芯片失效概率。因為如上種種因素使得Al2O3基片很難適應半導體器件大功率化的發展趨勢。
所幸的是,氧化鋁基片具有超高的性價比,在部分要求不那么高的應用領域也還是保有其重要位置。目前主要應用于主要在中、低功率范圍領域,例如通用電力電子、聚光太陽能、帕爾貼部件(熱電半導體致冷器件)、汽車應用半導體模塊等。
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本文“氧化鋁陶瓷基片材料簡介”由科眾陶瓷編輯整理,修訂時間:2022-12-27 14:29:37
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